Получение высокоомной воды

В большинстве случаев для микроэлектроники требуется глубокообесоленная (высокоомная, деионизованная) вода с удельным электрическим сопротивлением до 18 МОм*см (0,056 мкСм/см). Для получения высокоомной воды применяются технология обратного осмоса в сочетании с ионным обменом или электродеионизацией. Для стабильной работы обратноосмотической установки «Альмус» требуется высокоэффективная предподготовка, включающая в себя механическую фильтрацию и обезжелезивание на многослойных фильтрах на основе каталитически активных загрузок (антрацит, МЖФ, Birm и др.), очистку от органических примесей на угольных фильтрах, предварительное умягчение воды Na-катионированием, дозирование ингибитора осадкообразования. Доочистка обратноосмотического фильтрата от растворенных солей происходит на последовательно установленных катионитным (Н+) и анионитным (ОН-) фильтрах. В результате Н-катионирования образуется большое количества углекислого газа (СО2), который удаляется в декарбонизаторе посредством деаэрации воды.

После анионитного фильтра устанавливается фильтр смешанного действия и полировочный фильтр с размером пор 1-0,5 мкм.